一、濺射膜壓力溫度集成變送器項目研制背景、意義

傳感技術是新技術革命和信息技術的重要技術基礎，是信息技術中采集、處理、傳播三大關鍵技術之一，涉及國民經濟、國防科研、部隊武器裝備研制和保障的各個領域，各發達國家都將傳感技術視為現代高技術發展的關鍵，將它作為本世紀重點技術加以發展。傳感器在軍事上的作用得到世界各國的重視，需求逐年上升，以美國為例，軍事上用來測溫度、壓力等五種主要傳感器年平均增長率達12%，約占傳感器市場總額的15%，1995年產值12.5億美元。其中溫度傳感器與壓力傳感器的用量最多。

溫度與壓力是傳感器中應用最廣泛的兩種，在航天、航空、導彈、各類武器裝備中都需要對介質的溫度與壓力進行測量與控制。一般測試系統是通過溫度傳感器與壓力傳感器兩個傳感器對這兩種參數同時進行測量。隨著科學技術的發展，集成化、智能化是測量儀表發展的趨勢，傳感器技術也在集成、智能與數字化上大力發展。由于對同點介質溫度與壓力同時測量的場合相當多，將壓力與溫度測量進行集成，由同一傳感器實現，簡化安裝與調試，具有廣泛的軍事應用前景。

國外能同時測量溫度壓力的傳感器，部分產品的溫度是通過電路中集成芯片對環境溫度的一個測量，這種測量方式不能準確反應引壓端介質的溫度，只是給壓力傳感器提供一個溫度補償參考；部分在壓力傳感器內置一個熱電偶或鉑電阻溫度傳感器，但受封裝的影響，最高量程只能做到25MPa左右，美國公司的溫度壓力集成傳感器產品外采用的是鉑電阻溫度傳感器，輸出標準電阻值。

新溫度壓力集成傳感器的研究主要是將測壓與測溫的敏感件在同一硅杯上集成，利用壓阻式或電容式測量壓力，采用半導體二極管測量溫度，這還處于研制階段。國內現有的壓力、溫度集成的傳感器采用熱電偶、熱電阻測溫，采用壓阻或應變測量壓力，通過兩個接口連接，輸出信號再接處理電路，處理電路與測量點分開，這種方式的集成度不高，結構不緊湊。

對于嚴酷的戰場環境，軍用傳感器的抗環境性能要求高，對工作的可靠性要求高，要求微結構，要求信號標準化易于采集、控制與處理。在高振動、沖擊、粉塵、酸堿等惡劣環境下，熱電偶、熱電阻及二次儀表在測量精度與測量可靠性上都將受到影響。

半導體傳感器，具有體積小、重量輕、工藝成本較低等特點，在武器裝備中應用廣泛，國內有引進芯片的生產廠，自行研制的工藝水平較低，無法批量生產。半導體傳感器對溫度較敏感，不耐腐蝕，大多數測量場所應用的產品密封腔和充油腔，因此抗振動、沖擊和耐高、低溫性能有限。

在20世紀80年代之后，德國、俄羅斯等國也相繼開發出利用磁控濺射等方法制造的濺射膜傳感器，它的優良性能突顯出來，得到了實際應用。目前，該類傳感器主要用于軍事、核工業、油井等惡劣環境下的壓力測試。例如美國用于阿波羅飛船、Viking火星探測器（CEC公司產1000-02型）,俄羅斯用于聯盟號飛船和暴風雪-能源號航天飛機（奔薩研究所產BT-212型）,法國用于阿迪亞娜Ⅳ號和Ⅴ號運載火箭（Fagor公司產27 N型），僅Viking火星探測器就使用了傳感器8000只，其中溫度和壓力測量點最多。

由于濺射膜傳感器的彈性敏感材料由耐腐蝕不銹鋼制成，可直接與腐蝕性介質接觸。濺射膜傳感器的敏感電阻是合金材料，受溫度的影響極小，在-100℃～+250℃范圍內的溫度漂移小于50ppm/℃。通過先進的離子束鍍膜技術，制備的濺射膜熱電阻，能在中、低溫區準確測量。通過離子濺射與離子刻蝕，將熱電阻與應變電阻制備在同一芯片上，進行溫度、壓力的測量，可以實現傳感器的高度集成。這種一體化傳感器通過一個接口測量兩種參數，信號互不干擾，輸出標準的信號，無需外接儀表，測量精度高，性能優越，是軍用溫度壓力傳感器的發展方向。自主開發和生產高精度的濺射膜溫度壓力集成傳感器，保證軍事上的可靠應用，打破國外技術的封鎖，具有重要軍事意義。

二、項目研制的主要內容

(一)研究目標    本項目的研究目標是:通過對離子束濺射鍍膜、離子束濺射刻蝕等工藝進行研究，將濺射膜應變電阻與熱電阻在同一敏感芯片上進行集成，研制一種新型的濺射膜壓力溫度集成傳感器，同時準確測量介質的溫度與壓力。新型濺射膜溫度壓力集成傳感器具有響應快、測量精度高、穩定性好、抗振動、沖擊能力強等優點，滿足航空、航天、軍事裝備、戰場環境等方面的應用。

(二)技術指標   濺射膜溫度壓力一體化變送器主要實現以下技術指標；  測量壓力范圍：    0～60MPa；  測量溫度范圍：   -50℃～150℃；  溫度測量精度：    0.1℃；  壓力測量精度：     0.1級。

(三)研究內容    制作符合既定性能的軍用濺射膜溫度壓力集成傳感器，重點在工藝研究，本項目主要研究內容如下：

1．敏感元件版圖的設計

要根據對溫度與壓力的不同測量要求，選用不同材料，利用不同的原理來實現溫度與壓力在同一芯片上的集成測試。應變電阻要獲得高的應變系數、低的溫度敏感性，而熱電阻要有高的溫度靈敏度但對壓力不敏感，這需要結合成膜的工藝參數進行工藝試驗，在同一敏感芯片上做出合理的版圖設計。

2．離子束濺射鍍膜的工藝研究

制作新型的濺射膜溫度壓力集成變送器，濺射膜的質量至關重要。采用先進的離子束鍍膜技術，可以獲得性能優越的絕緣膜與電阻膜。在工藝研究中，要通過工藝實驗，找到濺鍍各種濺射膜的最佳工藝參數，保證濺射膜溫度壓力集成變送器的絕緣性能與穩定性能滿足項目要求。

3．離子束刻蝕的工藝研究

在基底材料上將濺鍍熱電阻膜與合金電阻膜兩種不同材質的濺射膜，通過刻蝕工藝形成兩種柵條電阻。采用先進的離子束濺射刻蝕技術，避免濕法刻蝕的固有缺陷，保證濺射膜電阻的均勻性，從而保證電阻膜橋路的匹配。

4．濺射膜電阻的穩定性處理工藝研究

要獲得高可靠、高精度的產品，電阻的穩定性和可靠性是基礎。除了鍍膜、刻蝕工藝外，對電阻膜的后期穩定性處理也是關鍵。通過采取一系列的穩定性處理措施，如熱處理、膜表面保護處理、老化處理等，使濺射膜電阻的溫度系數更加穩定并有高的線性度，使膜電阻材料的阻值在測溫范圍內具有高穩定性。

5．傳感器的補償工藝與信號調理

同一傳感器測量溫度與壓力，需要對兩路信號進行補償與放大。在現有的壓力傳感器的基礎上，補償與信號調理技術已成熟，只要針對溫度測量的特點，重新設計電路對溫度傳感器信號進行補償與放大。在電路的設計過程中，主要考慮的是減少環境溫度對測量的影響，保證介質溫度測量的準確性。這需要結合結構設計、版圖設計進行。

三、項目研制方案、技術難度、解決途徑

(一)總體設計方案

1、濺射膜壓力溫度一體化變送器工作原理設計：溫度壓力一體化變送器是在同一芯片上實現壓力與溫度的同時測量，輸出兩個標準信號。壓力測量原理是采用先進的離子束濺射鍍膜技術，在圓形平膜片的應變區濺射四個濺射膜合金電阻，連接成Wheastone全橋應變電路，通過膜片的形變將壓力轉換成合金膜電阻阻值的變化，從而輸出一個與所受壓力值成線性的標準電信號。溫度測量原理是通過離子束濺射鍍膜技術在平膜片的非應變區濺射一個標準的熱電阻，將所測液體、氣體的溫度通過平膜片的傳導轉換為熱電阻阻值的變化，通過信號調理輸出一個與溫度成線性的標準電信號。

2、濺射膜壓力溫度一體化變送器的測量橋路設計：在本項目中，熱電阻材料選用99.9%的鉑金，在版圖上設計2個1000Ω左右的鉑金電阻，再與精密金屬膜電阻配成輸入輸出阻抗為2KΩ的電橋橋路，將溫度信號轉換成電信號輸出。測量壓力的濺射膜應變電阻是根據電阻的形變來測量壓力值，為獲得盡可能高的應變靈敏度，應變電阻要處于芯片的最大應變區，而且采用全橋應變電路。這種橋路在版圖設計時帶入濺射膜電阻的零點補償，濺射膜橋路本身具有溫度自補償性，測量介質溫度與電路環境溫度對測量壓力結果影響非常小，保證測壓的準確性。

(二)技術難度

1、濺射膜的制備工藝：新型的濺射膜溫度壓力集成變送器，要求在惡劣環境中長期穩定可靠工作，因此制備高穩定性的濺射膜電阻是研究的難點。濺射膜的性能要“再現”原材的性能，還要具備濺射膜材料的優點。濺射膜電阻在制作工藝過程中，要盡量去除或減少摻雜、污染、氧化等不利因素，要保證膜層的致密度，保證相同工藝參數下電阻膜的電阻性能與溫度性能的一致性，保證濺射膜電阻的長期電穩定性。

2、鍍膜、光刻的工藝流程設計：在本項目的研究中，要求制備的功能濺射膜多，為了保證產品的高絕緣程度與耐壓程度，絕緣膜采用雙層絕緣膜形式。對熱電阻膜與合金電阻膜，穩定性處理工藝也不相同。膜層多、刻蝕多，集成傳感器工藝復雜，如何在保證質量的前提下，在工藝上實現多層膜的濺鍍、刻蝕與有效熱處理，是濺射膜溫度壓力集成傳感器的工藝難點。

(三)技術途徑

澤天傳感已有較成熟的濺射膜制備技術，研制、開發了多種濺射膜壓力傳感器，對多種金屬材料如銅、金、鎳等的溫度性能有一定的研究，在此基礎上進行濺射膜熱電阻的研究，實現溫度壓力的集成測量，在技術上是切實可行的。通過以下技術途徑，取得工藝、設計上的突破，實現該項目的目標要求，制作高穩定性的濺射膜溫度壓力集成變送器。

1．敏感元件版圖的設計：一般的熱電阻傳感器都制作標準的電阻，對阻值的準確性要求高，柵條的形狀要結合濺射膜厚度、電阻值大小、工藝上的可實現性等來設計。應變電阻分別分布于正負應變最大區域。為了保證熱電阻阻值的精確與合金電阻橋路的匹配，在版圖的設計中還要帶入濺射膜初步補償電阻，同時要設計激光調阻的位置。

2．工藝設計

2.1 工藝流程設計：溫度壓力集成變送器中有兩種電阻膜，要保證各層膜的工藝之間不互相干擾，要對濺射膜的成膜工藝過程進行設計。在確定好工藝順序后，就要對每一步具體的工藝過程進行試驗，尋找最佳參數工藝參數。

2.2 離子束濺射鍍膜的工藝研究：在本項目的研究中，選用離子束濺射鍍膜技術來進行各種功能膜的濺鍍。離子束鍍膜的性能與濺射靶材的性能基本一致，膜層的穩定性好。要制造好濺射膜傳感器，就必須對主要的功能膜的工藝一一進行研究。濺射膜厚度不一樣，成膜的結晶過程不一樣，膜層的性能也就有差別。膜厚達到一定程度，濺射材料成分的細微變化、膜層雜質、光刻腐蝕過程中的差異等對電阻阻值的影響就會減小，這些都有利于濺射膜電阻溫度系數的一致性與阻值的均勻性。

2.3離子束刻蝕的工藝研究：溫度壓力集成傳感器需要在同一基底上濺射二種不同材質的金屬膜，獲得兩種材料的柵條電阻。離子束刻蝕精度高，對各種材料的膜層都適用。完成鍍膜后，對應相應的電阻膜進行柵條形狀的曝光、涂膠，然后再采用離子束刻蝕技術，對不需保留的電阻膜用離子束轟擊掉。離子束刻蝕提高了刻蝕精度，保證了電阻膜的質量與阻值的均勻性。

2.4 濺射膜電阻的穩定性處理工藝：濺射膜電阻的穩定性性處理包含兩個方面，一是溫度系數的穩定性，還有一個是電阻阻值的穩定性。未經處理的濺射膜電阻性能不穩定，電阻值容易發生漂移，溫度系數也比標稱值小。

3傳感器的補償工藝與信號調理：由于工藝誤差的存在，每次鍍膜熱電阻阻值不可能完全一致，同一芯片上的四個應變電阻組成的橋路也不能完全匹配，這需要對濺射膜電阻阻值進行修正和補償橋路。為保證橋路的匹配性，在設計柵條電阻的同時，帶入一系列濺射膜補償電阻，通過補償阻值的選取來達到零點的初步補償。為保證信號的遠距離傳輸或數字化處理，設計信號調理電路對應變壓力信號與熱電阻溫度信號進行調理，轉換成標準的0～5V輸出。在電路的設計上，參考了澤天傳感原有的成熟電路，著重考慮抗干擾性能。

通過以上技術途徑進行工藝研究，可以獲得高性能的濺射膜，制作出新型的濺射膜溫度壓力集成傳感器。濺射膜溫度壓力集成傳感器響應速度快，測試精度高，穩定性能好，而且抗環境性能強，適合各種惡劣環境領域的壓力溫度測量。在濺射膜壓力傳感器與溫度傳感器的技術基礎上，研究開發新型的濺射膜溫度壓力集成變送器，為軍事領域提供高可靠性、高穩定性的軍用傳感器，對我國國防事業的發展有重大的意義。本文源自澤天傳感，版權所有，轉載請保留出處。